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      SEM測試場發射掃描電鏡測試

      • 國家
        美國
      • 型號
        德國Sigma 500/美國FEI·F50
      • 測試項目
        固體樣品的微觀形貌、結構,樣品的微區元素成份及線分布、面分布能譜
      • 樣品要求
        樣品高度小于15mm,直徑小于30mm, 若樣品不導電,請告知是否需要進行鍍金處理; 樣品不能含水分;有磁性(含有Fe、Ni、Co任一種元素)請提前告知。

      ● 技術指標

      電鏡分辨率: 1.5nm @ 15kV;2.0nm @ 10kV;3.0nm @ 5kV

      加速電壓: 500V~30kV

      束流大小: 最大20nA 

      測試案例

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