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      X射線光電子能譜測試-XPS測試

      • 國家
        美國賽默飛
      • 型號
        EscaLab 250Xi
      • 測試項目
        固體表面和界面的化學信息,分析除氫、氦以外的所有元素,包括元素種類及價態
      • 樣品要求
        1.粉末測試需要量一般不小于0.2 毫升或者10-20毫克,樣品需干燥;不能 2.固體樣品尺寸塊狀5*5mm,厚度盡量低于4mm,表面須平整,樣品需干燥; 3.液體樣須滴在鋁箔或者硅片等載體上烘干形成液膜,一般重復3-5次烘干滴液差不多即可測不到基底; 4.樣品不能含有放射性元素
      XPS是分析研究固體表面元素成份、元素分布、元素價態和化學態等表面化學特性方面的重要儀器,原則上能分析除H、He以外的所有元素,尤其適用于分析材料表面元素的化學價等,檢測靈敏度0. 1%~1%原子濃度比。
      XPS適于分析固體樣品,形狀不限,粉末樣品也可以分析,但以表面光滑的片狀為好,如納米薄膜材料,催化劑,微電子材料,高分子材料,生物材料,金屬材料,半導體材料,無機非金屬材料等。原則上樣品表面應維持欲分析狀態。對表面污染的樣品可采取適當措施,予以清潔,安裝時應使樣品與樣品托有良好的電接觸,具有放射性、揮發性的樣品不宜分析。

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      ● 技術指標

      1. 極限能量分辨率為0.43eV;

      2. 分析室真空度優于5×10-10 mbar;

      3. 能量分析范圍為0-5000eV;

      4. 通過能范圍為1-400eV。

      5. 固體樣品的表面成分分析、化學態分析,取樣深度一般約為1-10nm,其中金屬材料為0.5-3nm,無機材料2-4nm,有機高聚物5-10nm;

      ● 測試原理

      X射線光電子能譜分析(XPS)是用X射線去輻射樣品,使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子,可以測量光電子的能量,以光電子的動能為橫坐標,相對強度(脈沖/s)為縱坐標可做出光電子能譜圖,從而獲得待測物組成。XPS主要應用是測定電子的結合能來實現對表面元素的定性分析,包括價態。
      默認測試條件:單色化Al靶測試,能量1486.6eV,全譜通過能100eV,步長1.0eV,窄譜通過能30eV,步長0.05eV,束斑是500um。

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