● 技術指標：
1. 極限能量分辨率為0.43eV;
2. 分析室真空度優于5×10-10 mbar;
3. 能量分析范圍為0-5000eV;
4. 通過能范圍為1-400eV。
5. 固體樣品的表面成分分析、化學態分析，取樣深度一般約為1-10nm,其中金屬材料為0.5-3nm，無機材料2-4nm，有機高聚物5-10nm;
● 測試原理
X射線光電子能譜分析(XPS)是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子，可以測量光電子的能量，以光電子的動能為橫坐標，相對強度(脈沖/s)為縱坐標可做出光電子能譜圖，從而獲得待測物組成。XPS主要應用是測定電子的結合能來實現對表面元素的定性分析，包括價態。
默認測試條件：單色化Al靶測試，能量1486.6eV，全譜通過能100eV，步長1.0eV，窄譜通過能30eV，步長0.05eV，束斑是500um。
